产品名称:3靶等离子溅射仪--VTC-16-3HD
产品型号:
更新时间:2024-04-24
产品特点:VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片Z大尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,银,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用.
技术参数
输入功率 |
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输出功率 |
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样品室 | 石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height |
加热样品台 |
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控制面板 |
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可选
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进气口 | 一个精密可调针阀安装在进气口,以实现方便的调节进气量 |
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标配靶材分别有
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外形尺寸 |
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质保期 | 一年质保期,相关耗材除外,终身维护。 |
质量认证 | Certified |
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